Archives

Что такое технология MEMS Микроэлектромеханические системы  (MEMS, МЭМС) — это технология создания миниатюрных механических и электромеханических элементов на уровне кремниевой подложки. Такие структуры формируются на кристалле и далее могут встраиваться в электронные схемы как обычные компоненты. МЭМС‑устройства представляют собой комбинацию чувствительных механических элементов (подвижных и неподвижных) и встроенной микроэлектроники, которая управляет их работой и считывает …